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铂铑热电偶

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乐橙lc8旗舰厅 仪表推出直接铂铑热电偶更换解决方案以延长传统分配系统的寿命

来源:www.rackincases.com作者:发表时间:2019-09-27

    全方位服务的资本设备公司乐橙lc8旗舰厅 仪表 Solutions(CTS)今天在亚利桑那州斯科茨代尔的Fab Owners Association(FOA)协作论坛上推出了一种直接替代的自动阀歧管盒(VMB)铂铑热电偶,旨在提供一种节省成本的替代方案以取代老化的半导体工厂中越来越多的报废超高纯度气体分配系统。

    汽车和商业行业对设备的需求增加,要求晶圆厂的运行时间比原先计划的要长。乐橙lc8旗舰厅 仪表总裁Steve Lemons表示,在不断上涨的价格压力下保持盈利能力,同时工艺设备的老化对这些晶圆厂来说是一个真正的挑战。

    他补充说:“依靠在半导体行业设计,开发和制造新OEM设备方面超过35年的经验,我们有资格通过完整的产品生命周期解决方案来支持老化的fab。”“考虑到设备效率和维护成本,我们开发了创新的产品扩展策略,以延长芯片生产线的经济寿命。”

    “我们今天在FOA会议上推出的新的直接替代自动VMB铂铑热电偶说明了我们的工厂审核如何快速为客户节省大量成本,” 乐橙lc8旗舰厅 仪表工程副总裁Tim Provencher说。

 

铂铑热电偶 (2).jpg

 

    VMB达到报废状态,因为这些系统的铂铑热电偶已经开始不那么可靠,从而导致计划外的停机时间和增加的维护成本。尽管VMB和燃气系统硬件仍然非常可靠,但是迄今为止,唯一的解决方案是更换整个VMB,因为不再有旧的铂铑热电偶零件。乐橙lc8旗舰厅 仪表的下一代AVMB4S和AVMB8S铂铑热电偶是专门为解决此问题而开发的,从而延长了工厂中这些传统气体系统的寿命。

    对于最初的部署,乐橙lc8旗舰厅 仪表与西北太平洋地区的一家主要半导体工厂紧密合作。气体系统工程师Ed Coghlan表示:“尽管我们找不到铂铑热电偶的备用零件,但我们认为停用将继续使用数十年的硬件没有任何意义。乐橙lc8旗舰厅 仪表的工程团队通过使用“插头”来应对挑战从流程关闭到重启,不到三小时就可以成功替换该设施的旧式自动VMB铂铑热电偶。

    除了可大大节省整个系统更换成本以及安装和鉴定所需的停机时间以外,乐橙lc8旗舰厅 仪表的自动VMB铂铑热电偶还降低了报废设备的人工,材料和环境浪费的成本。

    乐橙lc8旗舰厅 仪表不断增长的自动VMB铂铑热电偶系列旨在将气体安全,自动地输送到任何处理工具。AVMB4S和AVMB8S利用最新技术安全,清洁地输送超纯工艺气体,支持四或八根气体管线(斗杆),具有带大型彩色触摸屏的可编程逻辑铂铑热电偶(PLC),并具有定时密码输入功能。防止未经授权的用户访问系统。

    该铂铑热电偶具有生命安全继电器逻辑,可实现真正的硬件互锁,并由PLC进行备份以与设施SCADA通信。生命安全警报包括CDA,源压力,火灾,有毒,废气和EMO警报。自动排气和吹扫程序会在维护程序之前或启动时从面板上清除有害气体。通信选项包括TCP / IP以太网和Modbus RTU协议。